1、主要功能： 

观测单个纳米结构（>100nm量级）的暗场散射成像及散射光谱特性 

观察样品表面平整度和边沿形貌，定位并测量纳米量级尺寸的样品 

观测白光大角度斜入射下样品的暗场散射光谱随入射角度的依赖关系 

2、应用领域： 

在材料化学领域，单个纳米颗粒、聚合体、杂化结构的散射光谱特性，比如纳米球、纳米棒、纳 米盘、金纳米球自组装聚合体、金@SiO2核壳、金纳米棒染料分子等 在生物医学领域，可观测细胞内的纳米颗粒和生物分子研究细胞内的动态过程和相互作用 

在半导体量测领域，可观测晶圆表面缺陷及划痕、图形化晶圆上纳米级结构的缺陷检测等 

3、参数配置： 

透射反射暗场模式：皆配备100W卤素灯白光源 

波长范围：400~1000 nm 

空间分辨率：≤100 nm 

散射光收集效率： ≥80% 

斜入式角度范围：65°~ 90° 

斜入式角度分辨率： ≤ 0.5°